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Saringer, C., Krüger, H., Stark, A., Schell, N., Pohler, M. & Czettl, C.,
1 Feb. 2023, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.)
in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 41.2023,
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10 S., 023102.
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