Restrictions of wafer curvature stress measurements by thermally induced plastic substrate deformation
Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Materials Center Leoben Forschungs GmbH
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 2015 |
| Veranstaltung | E-MRS Spring Meeting 2015 - Lille, Frankreich Dauer: 11 Mai 2015 → 15 Mai 2015 |
Konferenz
| Konferenz | E-MRS Spring Meeting 2015 |
|---|---|
| Land/Gebiet | Frankreich |
| Ort | Lille |
| Zeitraum | 11/05/15 → 15/05/15 |
