Piezoelectric Properties of Zinc Oxide Thin Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Originalsprache	Englisch
Aufsatznummer	2000319
Fachzeitschrift	Physica Status Solidi / A, Applications and Materials Science
Jahrgang	217
Ausgabenummer	21
DOIs	https://doi.org/10.1002/pssa.202000319
Status	Veröffentlicht - Nov. 2020