Die Reduktion der Entformungskraft beim Spritzgussprozess ist ein wesentlicher Aspekt zur Erhöhung der Produktivität und zur Abbildung feinster Strukturen im Mikrometerbereich. Durch die Beschichtung des Werkzeuges mit molekularen Schichten wird eine Verringerung der Oberflächenenergie für den Spritzgussprozess ermöglicht. In dieser Arbeit werden mögliche Beschichtungen hinsichtlich der Bindung an der Oberfläche und der thermischen Stabilität getestet um die vielversprechendsten Beschichtungen für nachfolgende Spritzguss- und Heißprägeversuche zu ermitteln. Zwei Moleküle, 1H,1H,2H,2H-Perfluordecylphosphonsäure und Octadecylhydroxamsäure, wurden zu diesem Zweck synthetisiert und mittels Kernresonanzspektroskopie (NMR) und Massenspektrometrie (MS) charakterisiert. Die Charakterisierung der gebildeten Schichten auf Stahl- und Nickeloberflächen sowie die Untersuchung der thermischen Stabilität erfolgte mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) und Kontaktwinkelmessungen.