MEMS test bench and its uncertainty analysis for evaluation of MEMS mirrors
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzartikel › (peer-reviewed)
Autoren
Externe Organisationseinheiten
- Infineon Technologies Austria AG, Graz
- Technische Universität Wien
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 49-54 |
| Seitenumfang | 6 |
| Fachzeitschrift | IFAC-PapersOnLine |
| Jahrgang | 52 |
| Ausgabenummer | 15 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - Sept. 2019 |
| Extern publiziert | Ja |
| Veranstaltung | 8th IFAC Symposium on Mechatronic Systems, MECHATRONICS 2019 - Vienna, Österreich Dauer: 4 Sept. 2019 → 6 Sept. 2019 |
