Ion charge state distributions of Al and Cr in cathodic arc plasmas from composite cathodes in vacuum, argon, nitrogen and oxygen

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Autoren

Titel in Übersetzung	Ion charge state distributions of Al and Cr in cathodic arc plasmas from composite cathodes in vacuum, argon, nitrogen and oxygen
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1929-1937
Fachzeitschrift	IEEE Transactions on Plasma Science
Jahrgang	41
DOIs	https://doi.org/10.1109/TPS.2013.2254135
Status	Veröffentlicht - 2013