Instrumentation for the 3D measurement of circular disks and the quantification of warpage

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Autoren

Titel in Übersetzung	Instrumentation for the 3D measurement of circular disks and the quantification of warpage
Originalsprache	Englisch
Titel	Proceedings of I2MTC 2013
Seiten	146-150
DOIs	https://doi.org/10.1109/I2MTC.2013.6555399
Status	Veröffentlicht - 2013