Influence of hydrogen sulfide addition on the alumina deposition by plasma CVD

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Autoren

Titel in Übersetzung	Influence of hydrogen sulfide addition on the alumina deposition by plasma CVD
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	360-363
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	200
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.02.069
Status	Veröffentlicht - 2005