Influence of bipolar pulsed DC magnetron sputtering on elemental composition and micro-structure of Ti-Al-Y-N thin films
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Details
| Titel in Übersetzung | Influence of bipolar pulsed DC magnetron sputtering on elemental composition and micro-structure of Ti-Al-Y-N thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 148-155 |
| Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
| Jahrgang | 203 |
| Status | Veröffentlicht - 2008 |
