High-temperature tribological behavior of sputtered NbNx thin films

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Titel in Übersetzung	High-temperature tribological behavior of sputtered NbNx thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1017-1022
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	202
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2007.07.043
Status	Veröffentlicht - 2007