GISAXS experiments on Al-coated Si-Wafers with expected “hillocks”
Publikationen: Buch/Bericht › Forschungsbericht › Transfer › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | GISAXS experiments on Al-coated Si-Wafers with expected “hillocks” |
|---|---|
| Originalsprache | Deutsch |
| Status | Veröffentlicht - 2006 |
