Fast Cross-Linking-Characterization of Waveguide-Polymers on Wafers by Imaging Low-Coherence Interferometry

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Autoren

University of Applied Sciences Zwickau
Technische Universität Dresden
Fraunhofer-Anwendungszentrum für Optische Messtechnik und Oberflächentechnologien (AZOM)
Polymer Competence Center Leoben GmbH