Warmarbeitsstähle werden hauptsächlich als thermisch und mechanisch hochbeanspruchte Warmarbeitswerkzeuge, Warmfließpresswerkzeuge, Druckgießwerkzeuge, Strangpresswekzeuge, Formteilpressgesenke usw. zur Verarbeitung von Schwer- und Leichtmetalllegierungen sowie Kunstoffen eingesetzt. Durch den Mechanismus der Ausscheidungshärtung hat das Plasmanitrieren das Potential zur Steigerung der Lebensdauer solcher Werkzeuge. Daher ist es notwendig für ein Optimum der mechanischen Eigenschaften die Mechanismen, die während des Nitrierprozesses in den oberflächennahen Bereich wirksam sind, zu verstehen. Im Rahmen der Diplomarbeit wurde der Einfluss des Siliziumgehalts auf die Ausscheidungsbildung in der nitrierten oberflächennahen Zone und die damit einhergehenden mechanischen Eigenschaften von zwei Warmarbeitsstählen der Sorte X 38 CrMoV 5 1 (AlSl H13) mit unterschiedlicher Siliziumkonzentration untersucht. Stickstoff- und Kohlenstofftiefenprofile wurden mittels optischer Glimmentladungsspektroskopie (GDOES) gemessen und die Nanostrukturwurde mit Hilfe der Röntgenkleinwinkelstreuung (SAXS) untersucht. Seitens der mechanischen Eigenschaften wurden Härte- und Eigenspannungsprofile erstellt sowie Zähigkeitsuntersuchung und 3-Punkt-Biegeversuche durchgeführt. Eine Literaturarbeit, in der der Stand des Wissens über Plasmanitrieren von hochlegierten Werkzeugstählen zusammengestellt wird, ist wichtiger Bestandteil der Arbeit.