Effect of growth conditions on stress, texture, roughness and self-annealing behavior of sputter deposited Cu films
Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 2015 |
| Veranstaltung | Campeon Innovation Week 2015 - München, Deutschland Dauer: 12 Nov. 2015 → 13 Nov. 2015 |
Workshop
| Workshop | Campeon Innovation Week 2015 |
|---|---|
| Land/Gebiet | Deutschland |
| Ort | München |
| Zeitraum | 12/11/15 → 13/11/15 |
