Effect of growth conditions on  stress, texture, roughness and self-annealing behavior of sputter deposited Cu films

Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Originalsprache	Englisch
Status	Veröffentlicht - 2015
Veranstaltung	Campeon Innovation Week 2015 - München, Deutschland Dauer: 12 Nov. 2015 → 13 Nov. 2015