Deposition of Ti–Al–N coatings by thermal CVD

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Autoren

Titel in Übersetzung	Deposition of Ti–Al–N coatings by thermal CVD
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	563-568
Fachzeitschrift	International journal of refractory metals & hard materials
Jahrgang	26
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.ijrmhm.2008.01.003
Status	Veröffentlicht - 2008