C2H6 as precursor for low pressure chemical vapor deposition of TiCNB hard coatings

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Autoren

Titel in Übersetzung	C2H6 as precursor for low pressure chemical vapor deposition of TiCNB hard coatings
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	127-132
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	215
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.08.081
Status	Veröffentlicht - 2013