A versatile atomic force microscope integrated with a scanning electron microscope

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Autoren

Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften
GETec Microscopy GmbH, Vienna
Laboratoray for Bio- and Nano-Instrumentation, EPFL

Originalsprache	Englisch
Aufsatznummer	053704
Fachzeitschrift	Review of scientific instruments
Jahrgang	88.2017
Ausgabenummer	5
DOIs	https://doi.org/10.1063/1.4983317
Status	Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 17 Mai 2017