A comparative study on Ti1-xAlxN coatings reactively sputtered from compound and from mosaic targets

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Autoren

Titel in Übersetzung	A comparative study on Ti1-xAlxN coatings reactively sputtered from compound and from mosaic targets
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	4705-4710
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	205
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.04.033
Status	Veröffentlicht - 2011