A Capacitance Ultrasonic Transducer with Micromaschined Backplate for Fast Flow-Measurements in Hot Pulsating Gases
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| Titel in Übersetzung | A Capacitance Ultrasonic Transducer with Micromaschined Backplate for Fast Flow-Measurements in Hot Pulsating Gases |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 898-905 |
| Fachzeitschrift | IEEE sensors journal |
| Jahrgang | VOL. 6 |
| Status | Veröffentlicht - 2006 |
