The sputter performance of an industrial-scale planar Mo-target over ist lifetime:target erosion and film properties
Aktivität: Gespräch oder Vortrag › Mündliche Präsentation
Teilnehmer
- Martin Rausch - Redner
- Asaf Sabag - Beitragende/r
- Karl-Heinz Pichler - Beitragende/r
- Georg Gruber - Beitragende/r
- Judith Köstenbauer - Beitragende/r
- Harald Köstenbauer - Beitragende/r
- Patrice Kreiml - Beitragende/r
- Megan J. Cordill - Beitragende/r
- Jörg Winkler - Beitragende/r
- Christian Mitterer - Beitragende/r
Datum
1 Mai 2019
Martin Rausch - Redner
Asaf Sabag - Beitragende/r
Karl-Heinz Pichler - Beitragende/r
Georg Gruber - Beitragende/r
Judith Köstenbauer - Beitragende/r
Harald Köstenbauer - Beitragende/r
Patrice Kreiml - Beitragende/r
Megan J. Cordill - Beitragende/r
Jörg Winkler - Beitragende/r
Christian Mitterer - Beitragende/r
1 Mai 2019
Veranstaltung (Konferenz)
| Titel | 62nd Annual SVC Technical Conference |
|---|---|
| Zeitraum | 27/04/18 → 2/05/19 |
| Ort | Long Beach |
| Land/Gebiet | USA / Vereinigte Staaten |
