Plasmaunterstützte Beschichtungsverfahren zur Herstellung nanostrukturierter Hartstoffschichten

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Translated title of the contributionPlasmaunterstützte Beschichtungsverfahren zur Herstellung nanostrukturierter Hartstoffschichten
Original languageGerman
Title of host publicationHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 2010
Pages234-236
Publication statusPublished - 2010
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