: Wasserstoff-gestützte Herstellung von Halbleiter-Nanostrukturen auf strukturierten Substraten und ihre rastersondenmikroskopische Charakterisierung

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author = "Christian Teichert",
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TY - BOOK

T1 - : Wasserstoff-gestützte Herstellung von Halbleiter-Nanostrukturen auf strukturierten Substraten und ihre rastersondenmikroskopische Charakterisierung

AU - Teichert, Christian

PY - 2009

Y1 - 2009

M3 - Forschungsbericht

BT - : Wasserstoff-gestützte Herstellung von Halbleiter-Nanostrukturen auf strukturierten Substraten und ihre rastersondenmikroskopische Charakterisierung

ER -