Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde die Abformung von V-Kerben mit Abmessungen im Submikrometerbereich mit den Verfahren Spritzgießen, Spritzprägen und Spritzgießen mit variothermer Prozessführung untersucht. Die variotherme Werkzeugtemperierung wurde mit einem Infrarotstrahler realisiert. Für die Tests wurden die Materialien PP Dow H734-52 RNA und COP Zeonor 1060R verwendet. Die Parameter Massetemperatur und Einspritzgeschwindigkeit sowie Werkzeugtemperatur und Nachdruck wurden in 2 vollfaktoriellen Versuchsplänen auf Effekte und Wechselwirkungen im Hinblick auf die Höhenreplikation der V-Kerben untersucht. Mit höherer Werkzeugtemperatur und Massetemperatur konnte die Qualität der Abformung deutlich gesteigert werden. Höherer Nachdruck verbessert die Abformung geringfügig. Mit steigender Einspritzgeschwindigkeit wurde die Abformung schlechter. Der Einsatz der Prägetechnik bringt eine geringfügige Verbesserung der Abformung. Bei beiden Materialien konnten die Strukturen nur mit dem Einsatz von variothermer Prozesstechnik zufriedenstellend abgeformt werden. Für die vollständige Abformung von Mikrostrukturen in COP ist eine Werkzeugtemperatur im Bereich der Glasübergangstemperatur notwendig. Bei PP ist die erforderliche Werkzeugtemperatur hingegen um mindestens 20 °C geringer als die Kristallitschmelztemperatur.