Structural changes in amorphous SiO2 films revealed by in-situ stress measurements up to 1000C
Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 2016 |
| Veranstaltung | ICMCTF International Conference on Metal Coatings and Thin Films 2016 - San Diego, USA / Vereinigte Staaten Dauer: 25 Apr. 2016 → 29 Apr. 2016 |
Konferenz
| Konferenz | ICMCTF International Conference on Metal Coatings and Thin Films 2016 |
|---|---|
| Land/Gebiet | USA / Vereinigte Staaten |
| Ort | San Diego |
| Zeitraum | 25/04/16 → 29/04/16 |
