Für die Weiterentwicklung von Hartstoffschichten sind die Auswirkungen von thermischen Prozessen auf den Aufbau, sowohl in chemischer als auch in struktureller Hinsicht, von herausragender Bedeutung. Maßgeschneiderte Eigenschaften für die verschiedenen Anwendungsbereiche sind machbar, wenn das thermische Verhalten der Schichten bekannt ist. Diese Arbeit befasst sich mit Strukturuntersuchungen, Spannungsrelaxationen während thermischen Zyklierens und tribologischen Untersuchungen von gesputterten TiN/Cu Multilayer- und Nanocomposite-Schichten. In Multilayer-Schichten korreliert die Domänengröße von Cu mit der Periodizität sowohl im beschichteten als auch im geglühten Zustand, während sie für TiN in beiden Fällen konstant bleibt. Nanocomposite-Schichten, die bis zu 30 at.% aus der Cu-Phase bestehen, weisen sowohl für TiN als auch für Cu kleine Domänengrößen ( 20 nm) auf. Spannungsrelaxation für Multilayer- und Nanocomposite-Schichten während thermischen Zyklierens ist auf plastische Deformation von Cu und auf Ausheilung von Defekten bei TiN zurückzuführen. Die tribologische Eigenshaften von Nanocomposite-Strukturen hängen selbst bei Raumtemperatur stark vom Oxidationsverhalten der Schichten ab.