Mo, J.,
Schaffar, G. J. K., Du, L.,
Maier-Kiener, V.,
Kiener, D., Vollebregt, S. & Zhang, G.,
2024,
2024 IEEE 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). Band 37.2024.
S. 626-629 4 S. (IEEE access).
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