Publikationen

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2016
Veröffentlicht
Structure evolution in reactively sputtered molybdenum oxide thin films
Pachlhofer, J., Jachs, C., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C., 2016, in: Vacuum. 131, S. 246-251 6 S.
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
2015
Veröffentlicht
Structure-property relations in reactively sputtered molybdenum oxide thin films
Pachlhofer, J., Jachs, C., Franz, R., Franzke, E., Winkler, J. & Mitterer, C., 2015.
Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
Veröffentlicht
Synthesis and Characterisation of DC-Magnetron Sputtered Molybdenum Oxide Thin Films
Jachs, C., 2015
Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Diplomarbeit
2014
Veröffentlicht
Funktionale Schichten in der µ-Elektronik
Mitterer, C., Franz, R., Jachs, C., Hofer, A. M., Jörg, T., Pachlhofer, J. & Mühlbacher, M., 2014.
Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)

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