Properties of reactively sputtered W-Si-N films

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.12.004
Status	Veröffentlicht - 2006