Plasma CVD of alumina – unsolved problems

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Autoren

Titel in Übersetzung	Plasma CVD of alumina – unsolved problems
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	141-145
Fachzeitschrift	Vacuum
Jahrgang	80
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2005.08.018
Status	Veröffentlicht - 2005