Die plastische Verformung von polykristallinen Metallen spielt in vielen Bereichen der Technik eine wichtige Rolle. Sowohl Umformbarkeit als auch mechanische Eigenschaften werden dabei von der Korngröße und der Kornstruktur beeinflusst. Die Entwicklung der Mikrostruktur sowie die Orientierungsänderung während der plastischen Verformung wurden bei Raumtemperatur in polykristallinem Eisen, Nickel und Kupfer untersucht. Mithilfe einer in-situ Zugeinrichtung wurden Proben mit einer Korngröße von 100m, 10m, 1m und 300nm im Rasterelektronenmikroskop plastisch verformt. Veränderungen der Oberfläche und des korngrenznahen Bereichs während der plastischen Verformung, wie z.B. die Deformation der Oberfläche, die Entwicklung der Mißorientierung und die Verteilung von Versetzungen, wurden unter Anwendung der EBSD (electron back scatter diffraction) Technik analysiert. Dazu wurde die Orientierungsänderung ausgewählter Körner bei drei verschiedenen Verformungsstufen aufgezeichnet. Die Veränderung der Oberfläche wurde über den gesamten Versuch verfolgt. Dabei hat sich herausgestellt, dass es für Körner größer 10m einen deutlichen Unterschied in der Orientierungsänderung benachbarter Messpunkte zwischen dem Korninneren und dem korngrenznahen Bereich gibt. Für Körner kleiner 1m verschwindet dieser Unterschied. Zusammenfassend konnte gezeigt werden, dass sich die Orientierungsänderung in Materialien mit Korngrößen über 1m deutlich von mikro- und nanokristallinem Material unterscheidet.