Influence of Annealing Treatments on the Adhesion Metal Barrier Layers

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  • Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften

Details

OriginalspracheEnglisch
StatusVeröffentlicht - 2016
VeranstaltungGordon Research Conference on Thin Film & Small Scale Mechanical Behavior, GRC 2016 - Lewiston, USA / Vereinigte Staaten
Dauer: 24 Juli 201629 Juli 2016

Konferenz

KonferenzGordon Research Conference on Thin Film & Small Scale Mechanical Behavior, GRC 2016
Land/GebietUSA / Vereinigte Staaten
OrtLewiston
Zeitraum24/07/1629/07/16