High-temperature oxidation resistance of Ta-Si-N films with a high Si content

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.02.097
Status	Veröffentlicht - 2006