Die Mikrostruktur von zwei CrN Filmen und deren Grenzfläche mit einem MgO-Substrat wurden mit Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und Elektronen-Energieverlust-Spektroskopie (EELS) untersucht. Probe A, eine Cr/CrN-Doppelschicht, hatte eine einkristalline Struktur. Probe B, eine CrN-Einfachschicht mit einer Schichtdicke von mehr als 1 µm, hat einen polykristallinen säulenförmigen Aufbau. Hochauflösende TEM (HRTEM) Untersuchungen ergaben, dass beide Schichten epitaktisch auf dem Substrat aufgewachsen waren. Außerdem wurde in beiden Proben die Bildung von misfit-Versetzungen an der Grenzfläche zwischen MgO und CrN beobachtet. In beiden Fällen handelte es sich um Stufenversetzungen in end-on Orientierung. Für eine detaillierte Untersuchung der Spannungsfelder entlang der Grenzflächen und rund um die Versetzungskerne wurde die geometrische Phasenanalyse eingesetzt. Zweidimensionale relative Spannungsverteilungen und Abweichungen von Gitterebenen wurden berechnet. Darüber hinaus wurden EELS Messungen für die CrN-Einfachschicht realisiert. Die Verteilung der beiden Komponenten (CrN-Film und MgO-Substrat) quer zur Grenzfläche wurde mithilfe der Methode der mehrfachen linearen kleinsten Quadrate abgebildet.