Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit der Prozesskette Reinigen-Vergüten-Nitrieren hochlegierter Werkstoffe, wie dem Warmarbeitsstahl X40CrMoV5-1. Die Prozesskette soll analysiert werden und durch genaue Betrachtung aller Vorbehandlungsschritte, sollen die Einflüsse dieser ermittelt werden. Ziel ist es in Erfahrung zu bringen, warum der Beizschritt mit Salzsäure vor dem Nitrieren notwendig ist, um diesen Zwischenschritt zukünftig eliminieren zu können und somit die Prozesskette zu optimieren. Die Versuche werden auf der Grundlage aktueller Fachliteratur aufgestellt. Ein großes Augenmerk wird auf die Reinigung und die Oxidschichtbildung gelegt. Mit zahlreichen Versuchen, die unterschiedlichste Reinigungs-, Anlass- und Nitrierparametern enthalten, wird versucht eine verbesserte Prozesskette zu finden, welche den Beizschritt nicht enthält. Die Ergebnisse zeigen, dass die Reinigung eine Nebensache darstellt im Vergleich zum Anlassprozess. Dieser hat sich als wichtigster Schritt in dieser Prozesskette herausgestellt. Wenn dieser nicht richtig durchgeführt wird, entstehen auf der Oberfläche Chromoxide, welche das Eindiffundieren des Stickstoffs blockieren und zu einem schlechten Nitrierergebnis führen.