AFM and STM studies on In2O3 and ITO thin films deposited by Atomic Layer Epitaxy

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)91-98
FachzeitschriftApplied surface science
StatusVeröffentlicht - 1996