: Wasserstoff-gestützte Herstellung von Halbleiter-Nanostrukturen auf strukturierten Substraten und ihre rastersondenmikroskopische Charakterisierung
Publikationen: Buch/Bericht › Forschungsbericht › Transfer › (peer-reviewed)
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Titel in Übersetzung | : Wasserstoff-gestützte Herstellung von Halbleiter-Nanostrukturen auf strukturierten Substraten und ihre rastersondenmikroskopische Charakterisierung |
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Originalsprache | Deutsch |
Status | Veröffentlicht - 2009 |