流動性基材で作製される部品の製造を制御するための音響ノイズ感知

Research output: Patent

Authors

Abstract

流動性基材から部品を製造するためのツール(100)であって、当該ツールは、部品を製造するために流動性基材が導入される処理チャンバ(102)と、ツール(100)から、特に処理チャンバ(102)から発生する音響信号を感知するとともに、製造中に、流動性基材とツール(100)、特に処理チャンバ(102)との間の相互作用を示すように構成された音響センサ(104)であって、この音響センサ(104)が、可動アクチュエータ(110)を含む、音響センサ(104)と、感知された音響信号に基づいて、処理チャンバ(102)内での製造を制御及び/又は文書化するように構成された制御装置(200)とを有する。

Details

Original languageOther
Patent numberJP2015509054
IPCB29C 45/ 76 A I
Priority date20/12/12
Publication statusPublished - 26 Mar 2015