Yttrium-induced structural changes in sputtered Ti1-xAlxN thin films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Yttrium-induced structural changes in sputtered Ti1-xAlxN thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	357-360
Fachzeitschrift	Scripta materialia
Jahrgang	57
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.scriptamat.2007.04.019
Status	Veröffentlicht - 2007