Die Eigenschaften dünner Schichten auf duktilen Substraten sind durch uniaxiale Zugversuche und Transmissionslektronenmikroskopie untersuchten worden. Dabei wurde speziell auf AlxOy und TiN Schichten auf Cu-Substraten, Cr und Ti-Schichten auf Polyimide (PI) und Cr-Schichten auf Polyethylenterephthalat (PET) eingegangen. Die Systeme AlxOy/Cu (650C) und Ti/PI (350C) wurden auch höheren Temperaturen getestet. Die Einfluss Schichtdicken Variationen auf experimentelle Ergebnisse wurde experimentell und theoretisch erkundet. Es wurde nachgewiesen, dass Schichtdicken Variationen zu eimen systematischen Fehler in der Messung der Grenzflächenscherspannung führen können. Daraus resultiert, dass die des uniaxialen Zugversuches nicht zu quantitativ gültigen Messungen an fest, spröde Schichten auf Polymersubstraten führt. Der Abstand zwischen Rissen in den Schichten nach Zugversuchen ist bei höheren Temperaturen grösser als bei Raumtemperatur. Die Adhäsion zwischen der Titanschicht und PI ist niedriger bei höheren Temperaturen, wie es mittels des Fischer-Modells (Cordill et al., Acta Mater. 2010) gezeigt wurde. Dies ist ein wichtiges Resultat, da Ti als Adhäsionsschicht in flexiblen, elektronisch Systemen verwendet wird.