Topographical and structural investigations of phosphorous-doped silicon films
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Details
| Titel in Übersetzung | Topographical and structural investigations of phosphorous-doped silicon films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 999-1002 |
| Fachzeitschrift | Applied physics / A (Series A, Materials science & processing) |
| Jahrgang | 66 |
| Status | Veröffentlicht - 1998 |
