In der vorliegenden Arbeit wurden das thermo-mechanische Verhalten und die daraus resultierenden Veränderungen der Phasen von metallischen dünnen Filmen des unmischbaren Systems Molybdän-Silber (Mo-Ag) untersucht. Die 40 nm bis 70 nm dicken Schichten wurden mittels eines DC-Magnetron-Sputter Prozesses auf biegesteifes (Silizium) und flexibles (Polyimid) Substrat aufgebracht. Die Zusammensetzungen erstreckten sich von 9 atm. % Ag bis zu reinen Silberfilmen. Es wurde festgestellt, dass die Zusammensetzungs- und Dickenvariationen zu Unterschieden im thermo-mechanischen Verhalten führten. Das thermo-mechanische Verhalten wurde mittels der Wafer-Krümmungs-Methode festgestellt und zur Interpretation des Verhaltens der flexiblen Proben verwendet. Die Phasenveränderungen wurden mittels Röntgenbeugung untersucht. Metastabile Phasen wurden vor der Wärmebehandlung festgestellt. Nach der Wärmebehandlung wurden durch Segregation entstandene Molybdän und Silber reiche Phasen entdeckt. Die Veränderung der Oberfläche ging, wie für einen diffusionskontrollierten Prozess üblich, Hand in Hand mit Zeit und Temperatur.