Thermally-induced stresses in thin aluminum layers grown on silicon

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Ernst Eiper
  • R. Resel
  • C. Eisenmenger-Sittner
  • M. Hafok
  • Jozef Keckes

Organisationseinheiten

Details

Titel in ÜbersetzungThermally-induced stresses in thin aluminum layers grown on silicon
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)74-76
FachzeitschriftPowder diffraction
StatusVeröffentlicht - 2004