Thermal stability of sputtered alumina films
Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Titel in Übersetzung | Thermal stability of sputtered alumina films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Status | Veröffentlicht - 2007 |
| Veranstaltung | Symposium on Reactive Sputter Deposition - Leoben, Österreich Dauer: 6 Dez. 2007 → 7 Dez. 2007 |
Konferenz
| Konferenz | Symposium on Reactive Sputter Deposition |
|---|---|
| Land/Gebiet | Österreich |
| Ort | Leoben |
| Zeitraum | 6/12/07 → 7/12/07 |
