Thermal stability of sputtered Al2O3 coatings

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Autoren

Titel in Übersetzung	Thermal stability of sputtered Al2O3 coatings
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1576-1581
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	204
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2009.10.002
Status	Veröffentlicht - 2010