Thermal stability of magnetron sputtered Zr–Si–N films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Thermal stability of magnetron sputtered Zr–Si–N films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	3368-3376
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	201
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.206 https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.206
Status	Veröffentlicht - 2006