Thermal emissivity of carbon coated p-doped silicon stencil masks for ion projection lithography
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Thermal emissivity of carbon coated p-doped silicon stencil masks for ion projection lithography |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 123-126 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / B (JVST) |
| Jahrgang | 21 |
| Status | Veröffentlicht - 2003 |
