Moderne Industrieprodukte fordern eine hohe Wirtschaftlichkeit und Qualität. In diesem Zusammenhang müssen neue Ansätze zur signifikanten Reduzierung von Haupt- und Durchlaufzeiten entwickelt werden. Im Bereich der Zerspanungswerkzeuge treten eine Reihe von unterschiedlichen Verschleißbeanspruchungen wie Abrasion, Adhäsion, Diffusion und Oxidation auf. Die Anforderungen an Zerspanungswerkzeuge für eine lange Lebensdauer sind eine hohe Härte bei hoher Zähigkeit, sowie die chemische Beständigkeit gegenüber der Umgebung und dem Material des Werkstücks. TiN Schichten kommen in der Zerspanungsindustrie aufgrund ihrer hohen Härte, guten thermischen Leitfähigkeit, Widerstandsfähigkeit gegen Korrosion und ihrer goldenen Farbe erfolgreich zum Einsatz. Einige Eigenschaften, wie Härte und Oxidationsbeständigkeit konnten durch Zulegieren eines weiteren Elementes, wie zum Beispiel Aluminium verbessert werden. Ziel dieser Arbeit war es, mittels thermischer chemischer Gasphasenabscheidung (engl. CVD) dünne Schichten im System Ti-Al-N herzustellen. CVD ist eine gängige Methode zur Beschichtung von Hartmetallwerkzeugen. In den Experimenten wurden sowohl die Beschichtungs-temperaturen als auch die Zusammensetzung der Precursoren variiert. Unter anderem konnten dadurch verschiedene Aluminiumgehälter erreicht werden. Diese Schichten wurden sowohl im Hinblick auf Phasenzusammensetzung und Struktur, als auch auf ihre mechanischen und tribologischen Eigenschaften untersucht und charakterisiert.