Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 119-123 |
| Fachzeitschrift | Journal of crystal growth |
| Jahrgang | 262 |
| Status | Veröffentlicht - 2004 |
