Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 1837-1843 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / B (JVST) |
| Jahrgang | 24 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2006 |
