Halbleitende Metalloxide sind heutzutage als Gassensoren, unter anderem zur Prozessüberwachung und in Geräten für die persönliche Sicherheit verbaut. Diese sogenannten Festkörper-Gassensoren verändern ihre Eigenschaften, insbesondere die elektrische Leitfähigkeit, wenn bestimmte Gasmoleküle aus der Umgebung von der Sensoroberfläche durch Chemisorption gebunden werden. Nano Cluster aus Edelmetallen haben sich als hilfreich erwiesen, die Performance dieser Sensoren, besonders im Hinblick auf die Gasselektivität, zu verbessern. In dieser Arbeit beschreibt der Autor im Detail die Herstellung von Zinnoxidfilmen (SnOx) mittels reaktiver DC Magnetronsputterdeposition für die Anwendung in Gassensoren. Die abgeschiedenen Schichten wurden detailliert mit Hilfe der Raserelektronenmikroskopie, Röntgendiffraktion, Raman Spektroskopie und Elastic Recoil Detection Analyse untersucht. Die Messdaten wurden ausgewertet und ein Zusammenhang zu den Herstellungsparametern hergestellt. Die Ergebnisse zeigen, dass die reaktive DC Magnetronsputterdeposition eine versprechende Methode zur Herstellung von Zinnoxidfilmen, welche frei von Verunreinigungen sind, ist. Des Weiteren wird ein erster Versuch zur Abscheidung von Au Nano Clustern beschrieben. Die Resultate führen zum Schluss, dass mit weiteren Untersuchungen und Verbesserungen von neuen Methoden, wie z.B. der Gasphasensynthese, ideale Nano Cluster zur Funktionalisierung von gassensitiven Metalloxiden hergestellt werden können.